MEMS微压差传感器的核心部分是采用MEMS技术加工而成的压阻式压力传感芯片。压力传感芯片由一个弹性膜片和四个集成在膜片中的电阻器组成。四个压电电阻形成一个惠斯通电桥结构。
当弹性膜片受到压力时，惠斯通电桥将输出一个线性比例的电压信号，压力开启。没有压力变化，就没有输出，因此消耗的功率更少。
MEMS微压差传感器集成压力传感元件和数字调理芯片，对漂移、灵敏度、线性参数进行数字补偿。该微压差传感器依靠电压供电，输出经过校准和补偿的标准电压信号。适用于非腐蚀性纯气体的压力测量。MEMS系列微压差传感器基于MEMS技术和SOP、DIP、COB封装等，专为非腐蚀性纯气体的压力测量而设计。
MEMS微压差传感器凭借体积小、成本低等特点，广泛应用于生物医学、汽车电子等领域。
医疗领域，如电子血压计、呼吸机、制氧设备、病人监护仪等。
用于汽车电子领域，如胎压计、制动助力器、动力转向、MAP传感器等。
小家电领域，如热水器、洗碗机、净水器、小保鲜盒等。
可穿戴设备领域，如智能手环、手表等。
用于健身器材领域，如按摩器、按摩椅、气垫床等。
其他领域，如真空泵、真空发生器、压缩机、压力表等。
