扩散硅压力传感器的内部结构组成原理图

扩散硅压力传感器是制造压力传感器和变送器的核心部件。以南京沃天扩散硅压力芯为例，说一下扩散硅压力传感器的内部结构。

扩散硅压力传感器由补偿板、钢球、底座、O型圈、芯片、陶瓷垫、膜片、压力环、硅油等组成。在图中的结构中，每个部分都有相应的作用和特点：

扩散硅压力传感器的内部结构组成部分：

1.补偿板：信号放大

2.钢球：密封油

3.底座：压力传感器的载体

4.O型圈：密封

5.芯片：感到压力

6.陶瓷垫：填充

7.隔膜：接触液体或气体进行测量

8.压环：将膜片焊接到底座上

9.硅油：传导压力