真空中伺服电机如何操作,注意事项有哪些?
排气!
您可能认为合适的电机尺寸是一个大问题,情况总是如此,但如果您无法满足其他工艺要求,尝试调整电机尺寸是没有意义的。对于在特定过程中在给定真空下运行的任何给定电机选择,最大的问题是除气要求,或者更确切地说,避免使用会影响正在执行的过程和/或电机寿命的材料。
了解工艺要求是关键:真空、除气规格和限制,以及对应用的期望(工艺和电机寿命)。
除气示例:特氟龙铅绝缘层的除气性能较低,但如果在辐射环境中使用,则不会像其他一些材料那样耐用。在这种情况下,Tefzel绝缘材料可能是更好的应用材料。(可能不会更好,您需要检查其材料信息并与其他产品进行比较。)或者,您可能拥有在辐射环境中具有良好除气特性的轴承润滑脂,但它与典型的半导体制造工艺不兼容。利用NASA A级要求是原始设备制造商、客户和电机制造商之间沟通的一个非常好的基线。该标准可以为单个应用程序的相同除外更改奠定基础。
NASA 的标准是:{ < 1.0% TML(总质量损失),< 0.1% CVCM(收集到的挥发性可冷凝物质)}
关于正确的电机选择,已经发现对于通常在标准大气中运行的应用(例如在制造工厂),计算出的 RMS 扭矩要求需要具有以下能力的电机的计算出的 RMS 扭矩值的 2.6-3 倍 在真空中操作时。 这可以与正常大气中铜的载流能力与真空中铜的载流能力之间的差异进行比较。