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压阻式压力传感器的线性度应该注意哪些事项?

发表时间:2022-03-01 18:39【 阅读量:-查看手机网址
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  压阻式压力传感器的线性度应该注意,在线性规范中,%FS(满量程,最终值)最常被应用。就测量值而言,即使制造商规范列出了一个非常小的值,尽管以%FS显示,误差也可能具有相当大的分量。


  在压力测量单元中,线性度取决于几个因素:


  1.半导体电阻器必须足够小并扩散到硅膜片上的正确位置,


  2.硅膜片必须干净、边缘锋利且位置正确,


  3.线性度是变化的,无论是测量正压还是负压,这意味着隔膜是凸出还是凹入(拉伸或压缩负载),


  4.硅膜片的直径与厚度之比必须在特定范围内。非常薄的膜片会因叠加拉伸而变形:这种气球效应在用于较低压力范围的传感器中会导致线性曲线的典型S形曲线(无法通过模拟补偿方法进行校正)。


  5.对于非常厚的硅膜片,刚性固定在其边缘的膜片的预期结构不再可实现,因为例如对于1,000 bar传感器,膜片的厚度是芯片本身的一半。