随着压力传感器市场的扩大和该技术应用的增加,您必然会处理各种不同的压力传感器。无论您是压力传感器新手还是多年来一直使用压力传感器,您对与压力传感器选择相关的一些现代技术和原则有多大信心?
今天将理想地涵盖您可能会询问的有关压力传感器的大部分术语和问题。而且,我肯定会提供类似术语之间的简单比较,了解每个原理的优缺点,以便您为您的应用选择最合适的压力传感器。
压力传感器的工作原理是信任施加压力的物理动作,然后以电子格式测量由此产生的比例修正。这种数字格式通常包括电容的调整,或应变计或压电元件的欧姆电阻的变化,这些变化与施加压力时的变形量成正比。
一、应变式压力传感器
在应变计型压力硅中,传感单元或箔应变计被组织为惠斯通电桥。产生的信号在此之后被提升和调节,以提供所采用压力的适当的传感器电压或传感器电流输出代理。
应变片的种类很多,通常可以概括为以下品种:
(1)细线应变仪(也称为金属线型应变仪)
(2)金属箔应变片
(3)薄膜应变计(也称金属薄膜应变计)
(4)半导体应变计(也称为固态)
(5)扩散硅半导体应变仪(也称为扩散硅压电电阻)
(6)薄膜半导体应变仪
无论是机械应变计还是基于电容和电感的应变计,它们都通过使用以下技术构建在基板上的惠斯通电桥正常工作:
·粘合
·粘贴
·涂层
·印刷
·溅射(真空沉积)
·光刻每次蚀刻
·化学沉淀物
二、应变式压力传感器的优势
·可用于测量静态和动态应变
·中型或小型,重量轻
·成本相对较低,种类繁多,易于选择和使用
三、应变式压力传感器的缺点
·不能测量低于1000pa的低压
·精度没有要求的那么高(通常为1%)
·温度漂移总是需要补偿