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微型压力传感器原理及运用

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人气:-发表时间:2020-11-13 16:44【

  压力传感器是一种用于测量生活压力的设备。该设备通常由压敏元件和信号处理单元组成,可以根据一定的规则传输压力信号,根据测量条件的不同,可以分为多种类型的压力传感器,其中微型压力传感器被广泛使用,由于其体积小,可以进入很多地方,所以您知道微型压力传感器的原理是什么?在哪里使用?让我们来看看!

微型压力传感器.jpg

  微型压力传感器的原理:


  当前的微型压力传感器包括硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者均基于硅片上微机械电子传感器。


  硅压阻式压力传感器采用高精度半导体电阻应变计构成电桥作为力电转换测量电路,具有测量精度高,功耗低,成本极低的特点。电桥的压阻传感器,如果没有压力变化,其输出为零,几乎没有功耗。


  微硅压阻式压力传感器采用固定在外围的圆形应力杯硅膜的内壁,并采用微技术直接在最大表面应力上刻制四个高精度半导体应变仪,以形成一个惠斯通电桥测量电桥作为力-电转换测量电路,直接将压力的物理量转换为电,其测量精度可达到0.01-0.03%FS。


  电容式压力传感器使用微技术在硅芯片上形成水平屏障。上下水平栅栏成为一组电容式压力传感器。上部横向势垒在压力下向下移动并发生变化。上部和下部水平栅格之间的距离也改变了板之间的电容,可就是压力等于电容量。


  微型压力传感器的应用:


  微型压力传感器可以采用相似的集成电路设计技术和制造工艺,以高精度,低成本的大规模生产来生产,从而为消费类电子产品和工业生产提供过程控制产品以低成本使用大量微型压力传感器来打开方便的门,从而使压力控制简单,易用且智能。


  传统的机械压力传感器基于金属弹性体的力变形,从机械弹性变形到电气转换输出,因此它不能像微型压力传感器那样小到集成电路,而且成本也低廉,远比微型压力传感器高。与传统的机械量传感器相比,微型压力传感器具有更小的尺寸,不超过一厘米。与传统的机械制造技术相比,它的性价比大大提高。


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