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MEMS微压差传感器由什么组成,微压差传感器应用领域怎么样?

发表时间:2022-08-30 17:57【 阅读量:-查看手机网址
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 MEMS微压差传感器的核心部分是采用MEMS技术加工而成的压阻式压力传感芯片。压力传感芯片由一个弹性膜片和四个集成在膜片中的电阻器组成。四个压电电阻形成一个惠斯通电桥结构。


 当弹性膜片受到压力时,惠斯通电桥将输出一个线性比例的电压信号,压力开启。没有压力变化,就没有输出,因此消耗的功率更少。


 MEMS微压差传感器集成压力传感元件和数字调理芯片,对漂移、灵敏度、线性参数进行数字补偿。该微压差传感器依靠电压供电,输出经过校准和补偿的标准电压信号。适用于非腐蚀性纯气体的压力测量。MEMS系列微压差传感器基于MEMS技术和SOP、DIP、COB封装等,专为非腐蚀性纯气体的压力测量而设计。


 MEMS微压差传感器凭借体积小、成本低等特点,广泛应用于生物医学、汽车电子等领域。


 ·医疗领域,如电子血压计、呼吸机、制氧设备、病人监护仪等。

 ·用于汽车电子领域,如胎压计、制动助力器、动力转向、MAP传感器等。

 ·小家电领域,如热水器、洗碗机、净水器、小保鲜盒等。

 ·可穿戴设备领域,如智能手环、手表等。

 ·用于健身器材领域,如按摩器、按摩椅、气垫床等。

 ·其他领域,如真空泵、真空发生器、压缩机、压力表等。

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