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扩散硅压力传感器有哪些精度定义?扩散硅压力传感器的特点有哪些?

发表时间:2022-03-28 18:03【 阅读量:-查看手机网址
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  1、高扩散硅压力传感器手感精度高,转换灵敏,检测三合一,转换环节不连接机械运动部件,因此重复性和滞后误差非常小。所以综合定位精度很高。

  2、可靠性高的硅敏膜弹性变形量级为微应变,膜的最大位移量级为微米,且无机械磨损、无疲劳、无老化。平均无故障时间,性能稳定,可靠性高。

  3、灵敏度高扩散硅敏感电阻的灵敏度系数比金属应变片高50~80倍,其满量程信号输出在80-100mv左右。适配电路适配性好,应用成本相应低。由于其输入励磁电压低,输出信号大,且无机械运动部件损耗,因而分辨率高。

  4、高频响应由于敏感膜硅材料本身固有频率很高,一般为50KC。制造工艺采用一体化工艺,振膜的有效面积可以很小,采用刚性结构预装特殊设计,传感器频率响应高,使用带宽可达零到100 kHz。

  5、性能好程度随着集成技术的进步,扩散硅敏膜的四电阻得到进一步提高,原来的人工补偿已被激光电阻、电脑自动休息技术更换、传感器归零和灵敏度温度系数已达到10-5个/℃量级,工作温度也大大提高。

  6、扩散硅压力变送器良好的抗电击穿性能由于采用特殊材料和组装工艺,扩散硅传感器不仅可以在130℃的强磁场中正常使用,耐高压击穿测试可以抗1500V /交流电压冲击压力变送器。

  7、耐腐蚀性好 由于扩散硅材料本身具有优异的耐化学腐蚀性,即使传感器没有隔离压力面,在普通使用中也能适应多种介质。硅材料与硅油具有良好的相容性,使其在使用防腐材料的隔离过程中更容易实现。再加上其低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全的防爆特性,可以替代许多同类型的功能产品,具有最佳的性价比。