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扩散硅压力传感器的内部结构组成原理图

发表时间:2022-03-28 18:14【 阅读量:-查看手机网址
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扩散硅压力传感器是制造压力传感器和变送器的核心部件。以南京沃天扩散硅压力芯为例,说一下扩散硅压力传感器的内部结构。

扩散硅压力传感器由补偿板、钢球、底座、O型圈、芯片、陶瓷垫、膜片、压力环、硅油等组成。在图中的结构中,每个部分都有相应的作用和特点:

扩散硅压力传感器

扩散硅压力传感器的内部结构组成部分:

1.补偿板:信号放大

2.钢球:密封油

3.底座:压力传感器的载体

4.O型圈:密封

5.芯片:感到压力

6.陶瓷垫:填充

7.隔膜:接触液体或气体进行测量

8.压环:将膜片焊接到底座上

9.硅油:传导压力