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扩散硅压力传感器是制造压力传感器和变送器的核心部件。以南京沃天扩散硅压力芯为例,说一下扩散硅压力传感器的内部结构。
扩散硅压力传感器由补偿板、钢球、底座、O型圈、芯片、陶瓷垫、膜片、压力环、硅油等组成。在图中的结构中,每个部分都有相应的作用和特点:
扩散硅压力传感器的内部结构组成部分:
1.补偿板:信号放大
2.钢球:密封油
3.底座:压力传感器的载体
4.O型圈:密封
5.芯片:感到压力
6.陶瓷垫:填充
7.隔膜:接触液体或气体进行测量
8.压环:将膜片焊接到底座上
9.硅油:传导压力