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电容式压力传感器应用特点有哪些?

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人气:-发表时间:2020-11-13 16:52【

  电容式压力传感器基于硅材料,采用电容原理,即利用电容变化将压力转换为电容变化,这是由MEMS技术制成的传感器。电容式压力传感器的特点如下:

电容式压力传感器.png

  (1)高阻抗和低功率,因此所需的输入力很小,输入能量也很低。电容式传感器的电极板之间的静电吸引力很小(大约10-5N),因此所需的输入能量非常小,因此特别适合解决低输入能量的测量问题,例如测量极低的压力和力。而且非常小的加速度,位移等,它可以做得非常灵敏,分辨率很高,并且可以感觉到0.001μm或更小的位移。


  (2)良好的温度稳定性。传感器的电容值通常与电极材料无关,这有利于选择温度系数低的材料,并且由于它产生的热量很少,因此对稳定性的影响很小。


  (3)结构简单,适应性强。测试对象可以是导体或半导体,并且可以在恶劣的环境中工作。电容传感器结构简单,易于制造,并且可以做得很小以实现某些特殊的测量;它可以在高温和低温,强辐射和强磁场等恶劣环境中工作,还可以测量磁性工件。


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