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线性步进压电电机的性能特点和应用,选择最佳的压电电机

发表时间:2022-02-15 18:16【 阅读量:-查看手机网址
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  有几种类型的压电电机可以提供线性运动,其中使用最广泛的一种是线性步进压电电机。这些设备利用多个压电元件的协调运动,以高分辨率和非常高的刚度产生几乎无限的行程。


  线性步进压电电机的性能特点:


  由于线性步进压电电机使用摩擦力来移动驱动杆或转轮,因此不需要机械元件并且没有间隙,因此可以实现纳米级(在某些情况下,皮米级)范围内的分辨率。多个压电元件的使用使线性步进器具有非常好的刚度和高保持力,使其在断电时能够自锁。


  线性步进设计可以以非常慢或非常快的速度运行,最大速度高达15 mm/s。虽然可以进行无限运动,但驱动杆或转轮的长度决定了行程,通常在几厘米的范围内,尽管在某些设计中最大行程可达10厘米。


  与其他压电电机一样,线性步进器是非磁性的,因此它们可以用于有磁场的应用中,并且它们本质上是真空兼容的。


  线性步进压电电机的应用:


  线性步进设计的行走运动使其成为需要长行程的压电应用的最佳选择。这与它们的无间隙运动相结合,为它们在扫描和显微镜应用以及半导体光刻设备中驱动线性平台提供了理想的特性。由于其极高的分辨率,线性步进压电电机可用于纳升分配和医疗设备或样品的定位。

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