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MOS型气体传感器工作原理和测量方法

2021年07月30日18:20 

  MOS型气体传感器原理,在干净的空气中,二氧化锡中的施主电子被吸附在传感材料表面的氧气吸引,从而阻止电流流动。

MOS型气体传感器.gif

  在还原气体存在下,吸附的氧的表面密度随着它与还原气体反应而降低。然后电子被释放到二氧化锡中,使电流可以自由地流过传感器。电流将给出被测气体的等效读数。


  原则:


  在氧浓度为0%的最极端情况下,当金属氧化物传感器材料(通常是二氧化锡[SnO2-x])在400°C等高温下加热时,自由电子会流过传感器的连接部分(晶界)二氧化锡晶体。


  在干净的空气中(约21%O2),氧气会吸附在金属氧化物表面。由于其高电子亲和力,吸附的氧会吸引金属氧化物内部的自由电子,在晶界形成势垒(空气中的eVs)。


  这种势垒会阻止电子流动,从而在清洁空气中造成高传感器电阻。

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