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mems工业传感器制造的技术特点

2020年09月03日16:34 博扬智能

工业传感器

首先必须承认,中国是最大电子生产和消费大国,终端消费市场巨大,该优势应该可以给各家MEMS厂商给予一定信心。而且受物联网市场驱动,MEMS传感器的市场增量将相当可观。另外,MEMS传感器产品多样,也有巨大的创新空间。


MEMS传感器制造需要依赖发达的半导体微加工技术


另一方面,根据MEMS传感器的特点,MEMS传感器一直依赖于使用基于半导体的微加工技术来制造器件,以取代更为复杂、笨重或不敏感的传感器。据此,未来将有四大趋势改变MEMS市场格局。它们分别是:新兴器件、新应用、颠覆性技术、新设计。


简单来说就是:新兴器件,如微镜和环境组合传感器;新应用,如压力传感器应用于位置或高度感测;颠覆性技术,包括封装、新材料,如压电薄膜和300mm/12寸晶圆;新的设计,包括NEMS纳机电系统和光学集成技术。


mems工业传感器工作原理分类:


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