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扩散硅压力传感器工作原理和压力信号测量技术

2022年03月28日17:57 

  压阻式压力传感器扩散硅压力传感器,由于MEMS制造技术的广泛应用,压阻式传感器已成为常用的压力传感器。 这些使得传感器的生产成本相对较低,假设它们不需要专门的包装来处理恶劣的环境。然而,传感元件对环境温度敏感,它们对温度变化的响应不是线性的。

  扩散硅压力传感器.png

  因此,需要校准传感器,并在温度背景下解释它们的输入。使用电阻进行测量还带来了在传感器处于活动状态时要求恒定电流流动的问题,这增加了系统能量需求,这在移动或物联网环境中可能会很麻烦。

  扩散硅压力传感器是一种典型且常用的压力测量仪表,它由两部分组成:一是检测元件,即扩散压阻式压力传感器,负责将物理量压力信号转换为电压信号。工作地点;另一种是多功能信号处理电路,负责将物理量压力信号转换为电压信号。传感器的输出电压信号经过放大和两线信号处理后,输出标准信号。因其测量精度高、动态响应快,被广泛应用于各行各业。

  扩散硅压力传感器工作原理:

  基于单晶肉桂的压阻效应,采用先进的加工工艺在特定方向上制造出弹性元件。四个电阻相等的应变电阻通过集成电路技术在适当的位置制造并连接到惠斯通电桥。当在电桥上施加恒定电压(电流)时,当弹性元件上存在压力(差压)时,传感器输出一个与介质给定压力成线性比例的电压信号,然后将电压信号通过电子电路并将其转换为标准的两线信号。根据其工作原理,温漂的主要来源是传感器部分的温漂。

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